검사 기판 크기 1270 50 × 50~400 × 330 mm 검사 기판 크기 1271 50 × 70~610 × 510 mm
● 프론트 2 암, 백 2 암 등 총 4 암으로 양면 동시 검사
● 단자 저저항 측정 기능 (옵션)으로 크랙 등의 보이지 않는 결함까지 탐지
● 도통 검사 방식과 정전 용량 측정 방식 외에 다양한 검사를 실장
절연 도통 검사 방식으로 단락/단선 검사
CR 검사로 단락/단선 검사
정전 용량 측정 방식으로 단락/단선 검사
IVH 스루 홀의 저항 검사 (옵션의 4 단자 저저항 측정)
L, C , R, D 측정에 의해 기판 내장 소자 정수의 측정
● 고정밀과 동시에 검사 속도는 최속 0.012 초 / 스텝의 고속
● 불량시 미세한 정전 용량 변화를 확실하게 검출하는 5 aF의 고분해능 (1 aF = 10 ^ -6 pF)
● 최소 패드 지름 φ20μm으로, 최적 피치 미세 패드에도 확실히 프로빙
● 시험 전압 250V까지 가능한 절연 내압 시험 탑재 가능 (옵션)
● 프로브의 타흔을 최소화하면서 고속 소프트랜딩 기능과 충격 흡수 프로브
● 검사의 기준값 흡수에 필요한 일련의 작업을 자동화, 간단히 기본 데이터 흡수 가능