그림5에 시스템의 개요를 나타냈다. RM2610은 다음과 같은 제품으로 구성되어 있다.
• 전극저항계 RM2611
멀티플렉서가 내장된 4단자 저항 측정부
• 전극 저항 계산 소프트웨어 RM2612
시스템 전체의 제어, 측정한 다점의 저항으로부터 합재층 저항률과 계면저항을 계산.
• 프레스 유닛 RM9003
수동으로 테스트 픽스쳐 RM9004를 정확하게 승강시키는 장치
• 테스트 픽스쳐 RM9004
전극 시트에 접촉하는 프로브 부분
• 접속케이블 RM9005
RM2611과 RM9004를 전기적으로 연결하는 다심 케이블
• 온도 센서 Z2001
RM2611에 연결하여 전극시트의 주위온도를 측정
전극저항계 RM2611
그림6에 RM2611의 블록도를 나타냈다.
(1) 저항측정부
직류 4단자법에 의한 저항측정부와 RM9004의 각 프로브와의 연결을 전환하는 멀티플렉서로 구성된다.
멀티플렉서에는 반도체(MOSFET) 릴레이를 사용하여 고속 스캔·긴 수명·저소음화를 실현했다.
저항 측정부는 오프셋 전압 보정 기능을 갖추고 있어 프로브 접촉부나 측정계에 발생하는 열기전력의 영향을 제거할 수 있다.
테스트 픽스처 커넥터에는 RM9005를 통해 RM9004를 연결한다.
(2) 온도측정부
부속된 온도센서 Z2001을 TEMP.SENSOR 단자에 연결한다.
Z2001의 출력을 온도 측정 회로에 입력하여 주변 온도를 측정한다.
(3) 인터페이스
USB 단자가 있어 USB 케이블로 PC의 USB단자와 연결한다.
PC에 설치한 RM2612로 RM2611 측정을 제어한다.
(4) 멘테넌스부
히오키 교정과 수리에 사용하는 유지 보수 전용 인터페이스를 갖추고 있다.
(5) 측정제어
측정 레인지나 속도의 조건 설정, 멀티플렉서 전환 및 측정의 실행은 모두 RM2612로부터 커맨드를 받아 동작한다(RM2611의 키 조작으로는 사용할 수 없다).
측정 프로브의 조합을 포함한 측정 시퀀스는 RM2612측에서 관리한다.
RM2611의 저항 측정값은 RM2612에서 전류값을 곱함으로써 전위값으로 변환하고 있다.
테스트 픽스처 RM9004
RM9004는 하부의 합성수지 부품에서 직경 약 75 µm의 극세 프로브가 비스듬히 46개 돌출되어 있다(그림7). 이에 의해 프로브가 작은 힘으로 만곡하기 때문에 프로브가 측정대상에 수직으로 접촉하는 경우와 비교해서 측정대상에 주는 부하를 줄일 수 있다. 그림8에 나타낸 것처럼, A와 B 사이에는 프로브가 만곡하기 위한 공간을 마련했다.
프로브는 축방향의 힘에는 충분한 강도가 있지만, 반지름방향의 힘에는 약해서 부러질 수가 있다. 또, 측정 중에 측정대상인 시트가 외력에 의해서 움직이는 것을 방지하기 위해서 측정대상을 고정할 필요가 있다. 그 때문에, 그림 9의 시트누름에 의해서 시트의 동작을 억제함으로써 프로브를 보호하고 있다. 1회 조작으로 시트를 고정해 측정을 시작할 수 있기 때문에 작업의 효율이 좋다.
프레스 유닛 RM9003
RM9003은 잠금 장치에 3가지 종류가 있어, 사용자의 사용 상황에 따라 사용할 수 있다.
잠금 상태는 프레스 유닛이 움직이지 않도록 잠글 수 있으며, RM9003의 반송시나 보관시에 사용한다.
반잠금 상태는 레버를 2개 동시에 당긴 경우에 RM9004가 하강하기 때문에 의도하지 않은 RM9004의 하강을 막을 수 있다.
잠금해제 상태는 레버를 1개 당겼을 경우에 RM9004가 하강하기 때문에 연속 검사에 적합하다.
측정 시에는 실제로 프로브가 닿는 부분이 보이지 않아 측정 부분을 확인할 수 없다. 그래서 측정 대상을 둘 때에 표시가 되도록 방안 눈금을 인쇄한 눈금판을 설치하여 대략적인 측정위치를 알 수 있도록 했다(그림 10). 눈금판은 금속판 위에 1점으로 고정하고, 금속판에서 뜨지 않도록 추가로 3점을 나사로 누르고 있다. 이것은 금속판 위에 수지판을 고정하는 경우에 열팽창에 의해 판에 처짐이 생기는 것을 방지하는 목적이 있다.
전극저항 계산 소프트웨어 RM2612
RM2612는 전위 데이터를 바탕으로 합재층 저항값율과 계면저항을 산출하는 WindowsⓇ용 PC 애플리케이션 소프트웨어이다. PC는 USB 케이블로 RM2611에 연결한다.
프로브와 전극 시트의 접촉을 감지하는 콘택트 체크 기능을 탑재하고 있다. 프로브가 전극 시트에 접촉하면 측정을 자동으로 시작하다.
또, 측정에 필요한 정보 입력이나 사용자의 편리성을 향상하기 위한 기능의 탑재, 전위 측정이나 연산이 올바르게 이루어졌는지를 나타내는 지표도 표시한다.
• 전극 시트의 정보 입력
연산에 필요한 정보로서 전극 시트의 합재층의 두께[µm]나 집전체의 두께[µm]와 집전체의 부피 저항률[Ωcm]을 입력한다.
• 동작 모드 선택
효율적으로 저항값을 구할 수 있도록 '전위측정+연산', '전위측정', '연산'의 3종류의 동작 모드를 선택한다.
• 전위 측정 신뢰도 표시
정확하게 전위 측정이 이루어졌는지를 판단할 수 있도록 정합성, 에러율 및 변동계수의 3가지 지표를 표시한다.